Trước đây, Tây Tựu là một xã thuộc huyện Từ Liêm cũ.

Ngày 27 tháng 12 năm 2013, Chính phủ ban hành Nghị quyết số 132/NQ-CP[1]. Theo đó, thành lập phường Tây Tựu thuộc quận Bắc Từ Liêm trên cơ sở điều chỉnh toàn bộ 530,18 ha diện tích tự nhiên và 26.970 người của xã Tây Tựu, 9,30 ha diện tích tự nhiên và 596 người của xã Xuân Phương.

Sau khi thành lập, phường Tây Tựu có 539,48 ha diện tích tự nhiên và 27.566 người.